常規真空工藝對環境的要求
所謂常規真空工藝系指沒有特殊要求的真空工藝過程,這類真空裝置(設備)對真空衛生的要求:
(1)凡是處于真空中的真空設備零件,都要求無積存的污染源,表面無塵埃,無鐵屑、無銹蝕;
(2)真空設備的真空室表面要光滑、無松軟組織和氣孔、無內焊縫等影響真空的缺陷;
(3)高真空設備中,真空室內的運動部件不得用機油作潤滑劑,要用飽和蒸氣壓低的擴散泵油、硅油作潤滑劑;法蘭、觀察窗的密封部件要涂以高真空油脂;
(4)真空設備一般應在溫度為15~30℃,相對濕度不高于70%的清潔空氣流通的環境中工作,冷卻水進水溫度不高于25 ℃。
電真空工藝對環境的要求
電真空結構材料除具有良好的機械性能和加工性能外,還要滿足其他性能的要求,即容易除氣、低的飽和蒸氣壓、一定的化學穩定性、一定的純度和清潔度、合適的輻射能力等。所以電真空工藝具有特殊性,對清潔處理要求是極為嚴格的,應最大限度清除或減少零件的污染。
真空鍍膜工藝對環境的要求
zhenkongdumogongyichendi(jipian)biaomiandeqingjiechulihenzhongyao,jipianjinrudumoshiqianjunyingjinxingrenzhendeduqianqingjiechuli,dadaogongjianquyou、quwuhetuoshuidemude。jipianbiaomianwuranlaizilingjianzaijiagong、chuanshu、baozhuangguochengsuozhanfudegezhongfenchen、paoguanggao、youzhi、hanzidengwu;lingjianbiaomianzaichaoshikongqizhongshengchengdeyanghuamo;lingjianbiaomianxishouhexifudeqiti。zhexiewuwujibenshangjunkecaiyongquyouhuohuaxueqingxifangfajiangqiqudiao。 |