真空泵

真空泵是一種旋轉式變容真空泵須有前級泵配合方可使用在較
[1]寬的壓力范圍內有較大的抽速對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。真空泵分類廣泛，主要有WLW系列立式無油真空泵、W型往復式真空泵、2X,2XZ型旋片式真空泵、ZJ，ZJH型羅茨真空泵（ZJH型為專利產品）、2SK，SK型水環式真空泵、2BV，2BA型水環式真空泵、
[2]H,2H型滑閥真空泵、TLZ型真空泵、SL型羅茨鼓風機、JZJHX型羅茨旋片真空機組、JZJHS型羅茨水環真空機組、JZJHWLW型立式無油真空機組、JZJP型羅茨水噴射真空機組、JZJHBA型羅茨水環真空機組、RPP型水噴射真空泵、JZJH2H型羅茨滑閥式真空
[3]機組等型號。 　　真空泵廣泛用于塑料機械、農藥化工、染料化工、磚瓦機械、低溫設備、造紙機械、醫藥化工、食品機械、工業電爐、電子行業、真空設備、化肥、冶金、石油、礦山、地基處理等領域。 　　
2BA型水環式真空泵是為滿足真空泵可帶水吸氣這一要求，在原SKF型和2FA型水環式真空泵的基礎上，自行開發研制而成的新一代水環式真空泵。它設計先進、結構新穎，適用于各種較為苛刻、復雜的應用領域。它可抽吸含有大量水氣，可凝汽的介質，在抽吸易燃，易爆或有毒、有腐蝕性氣體時不易發生危險，故可廣泛應用于機械、石油、化工、電力、制藥、食品、陶瓷、制糖、印染、冶金、塑料、瓦磚、皮革等行業，特別適用于塑料配套使用，2BA型水環式真空泵分別取代SZ、SK、2SK-3、2SK-6、2S-185、2SK-230和W型往復式真空泵。 　　
renmenzaishiyongguochengzhongjingchangpengdaoshusonghuaxueqiti，zhejiuxuyaoyinjinnaifushizhenkongbengdexingainian。tashiliyongtaoci、buxiugang、hejindengteshujiezhilaizuoguoliubufende，zhenzhengfuheletongchangde“naimo、naisuan、naijian、naigaowen”deyaoqiu。

真空泵-機械分類
　　 按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括：1、液環真空泵（水環式真空泵）2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等。氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。工業中應用最多的是水環式真空泵和旋片式真空泵等。 　　按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。 　　粗真空系列： 　　2SK、SK系列雙級水環式真空泵 ( Model 2SK、2SK-P1 Water Ring Vacuum Pump ) 　　主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、醫藥、化工等行業的真空蒸發、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單，使用方便、工作可靠、維護方便的特點。 　　2BA、2BV系列水環式真空泵( Model 2BA Water Ring Vacuum Pump ) 　　
主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶于水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應用于機械、制藥、食品、石油化工等行業中。

W型往復式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump ) 　　
shihuodecuzhenkongdezhuyaozhenkongshebeizhiyi。guangfanyingyongyuhuagong，shipin，jiancaidengbumen，tebieshizaizhenkongjiejing，ganzao，guolv，zhengfadenggongyiguochengzhonggengweishiyi。 　　

WLW型立式無油真空泵（ WLW Vertical Oil-Free ）
WLW型無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是W型臥式真空泵的更新換代產品，是獲得粗真空的主要設備。由于采用全密封裝置，實現了曲軸箱和汽缸的完全隔離；加上活塞環使用了自潤滑材料，便實現了先進的無油潤滑。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、醫藥和食品等行業的真空蒸餾、真空蒸發、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。 　　高真空系列： 　　
H、2H型滑閥式真空泵（Rotary Piston Vacuum Pump） 　　
廣泛應用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗等新材料、新技術、新工藝的生產與研制中。 　　滑閥真空泵可單獨使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴散泵的前級泵的使用。當抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學反應、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時，需附加裝置。 優點：相比旋片式真空泵耐用5倍以上，有取代旋片真空泵的趨勢。價格相對高一點。 　　2X型旋片式真空泵 　　用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫藥等行業的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。

2XZ型旋片式真空泵( Model 2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump ) 　　
juyoujiegoujincou，tijixiao，zhongliangqing，zaoyindi，zhendongxiaodengyoudian。suoyi，tashiyongyuzuokuosanbengdeqianjibeng，erqiegengshiyongyujingmiyiqipeitaoheshiyanshishiyong。liru：zhipuyiqi，bingxiangliushuixian，zhenkonglengdongganzaojideng。 　　

ZJH系列羅茨真空泵( Model ZJH Roots Vacuum Pump ) 　　
是一種旋轉式變容真空泵須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內有較大的抽速對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。主要用于真空機組的主泵，不能單獨使用。需要用前級泵輔助。如：水環式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。最大羅茨真空泵保持紀錄為10000L/S生產企業為上海益化真空設備有限公司（成功運用于中國石化集團）。 　　
JZJH2H羅茨滑閥真空機組(Roots Pump with Rotary Piston Pump Vacuum System) 　　
youluocizhenkongbengyuhuafazhenkongbengchuanlianzucheng，huafazhenkongbengzuoweiyuchouzhenkongbengyijiluocizhenkongbengdeqianjizhenkongbengshiyong，luocizhenkongbengzuoyouzhuchouzhenkongbeng。luocizhenkongbengyuhuafazhenkongbengchousubidaxiaoxuanzedezhuyaoyijushizhenkongjizuchangqigongzuodezhenkongdu，zhenkongjizuchangqigongzuoqujianzaidizhenkong，yixuanzejiaoxiaodechousubi（2：1zhi4：1），ruguozhenkongjizuchangshijianzaigaozhenkonggongzuo，zekexuanzejiaodadechousubi（4:1zhi10：1）

羅茨滑閥真空泵機組。推薦企業：浙江真空設備集團有限公司、海門市華豐真空設備有限公司等。 　　
JZJHX型羅茨——旋片泵機組( Model JZJHX Roots-Sliding Vane Rotary Vacuum Pump System ) 　　
JZJHX型羅茨--旋片泵機組是以羅茨泵為主泵，以旋片泵為前泵串聯而成。其結構緊湊，操作方便。使用于抽除空氣及其它無可凝性及無腐蝕性氣體，廣泛應用于需要大抽速和高真空的各種真空系統中。如：真空冶煉、電力電容器、變壓器、真空浸漬處理、真空鍍膜設備中的預抽等。 　　
jzjhsxingluoci——shuihuanbengjizu ( model jzjhs roots-water ring vacuum pump system ) 　　benjizuyouyucaiyongshuihuanbengzuoweiqianjibeng，yinertebieshiyongyuchouchuhanyoudaliangshuizhengqihedaiyouyidingfushixinghekeningxingqitidegongyiguochengzhong。ru：zhenkongzhengliu、zhengfa、tuoshui、jiejing、ganzaodenggongyiguochengzhong。 　

JZJHBA型羅茨——水環泵機組 ( Model JZJHBA Roots-Water Ring Vacuum Pump System ) 　　本機組由于采用水環泵作為前級泵，因而特別適用于抽除含有大量水蒸氣和帶有一定腐蝕性和可凝性氣體的工藝過程中。如：真空蒸餾、蒸發、脫水、結晶、干燥等工藝過程中.
[編輯本段]真空泵-機械選擇
選擇真空泵注意事項： 　　
1、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。 　　
2、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。 　
3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。 　　
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。 　　
5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。 　　
6、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。 　　
7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。 　　
8、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，最好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。 　　
9、zhenkongbengdejiage、yunzhuanjiweixiufeiyong。

1、真空泵應安裝在地面結實堅固的場所，周圍應留有充分的余地，便于檢查、維護、保養。 　　安裝原理圖
2、真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉平穩，振動小。 　　
3、真空泵與系統的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應清除管道中焊渣，嚴禁焊渣進入真空泵腔。） 　　
4、在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。 　　
5、按電動機標牌規定連接電源，并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。 　　
6、真空泵通電試運轉時，須取下電機皮帶，確認真空泵轉向符合規定方向方可投入使用，以防真空泵反轉噴油。（轉向按防護罩指示方向） 　　
7、對于有冷卻水的真空泵，按規定接通冷卻水。 　　
8、如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。 　　
9、dangzhenkongbengpaichuqitiyingxianggongzuohuanjingshi，kezaipaiqikouzhuangjieguandaoyinlihuozhuangjieyouwuguolvqi。

真空泵-注意事項
　　 真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到最佳配置，選擇真空系統時，應考慮下述各點： 　　確定工作真空范圍 　　首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。 　　確定極限真空度 　　在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的最佳工作真空度。一般來講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。 　　被抽氣體種類與抽氣量 　　檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應，泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。 　　真空容積 　　檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。 　　考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。 　　主真空泵的選擇計算 　　s=2.303v/tlog(p1/p2) 　　其中： 　　s為真空泵抽氣速率(l/s) 　　v為真空室容積(l) 　　t為達到要求真空度所需時間(s) 　　p1為初始真空度(torr) 　　p2為要求真空度(torr)
[編輯本段]真空泵-機械使用
　　 真空泵（簡稱旋片泵）工作壓強范圍為101325~1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫藥等生產和科研部門。 　　旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。 　　旋片泵是真空技術中最基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。 　　旋片泵的抽速與入口壓強的關系規定如下：在入口壓強為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。 　　旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動。 　　兩個旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內的油層排至大氣中。由泵的連續運轉，達到連續抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了極限真空度。
[編輯本段]真空泵-油的要求
　　 zaizhenkongbengzhongzhenkongbengyoubujinzuoweihuodezhenkongdejiezhi，huanduijixiemocadianqirunhua、lengquehemifengzuoyong。 　　zhenkongbengyouzhuyaoxingnengyaoqiu： 　　　1.jididezhengqiya 　　zheshizhenkongbengyoudezuizhongyaodexingneng，youyuzhenkongbengyaoqiuzhenkongduhengao，yibanyongshilajizhailiufenrunhuayou，duiyukuosanzhenkongbeng，huankeshiyongzhengqiyahendideguiyouhuoqitahechengyou。 　　2.heshidezhanduhelianghaodezhanwentexing 　　zhenkongbengqiangneirongjibuduanbianhuaerxingchengpaiqizuoyong，yaoqiurunhuayouyingjuyouheshidezhanduhezhanwentexing。 　　3.lianghaodereyanghuaandingxing 　　zhenkongbengbuduanxianggaosudufazhan，youyuhuapianhebengtidegaosumocashiyouwenshenggao，youpinhenrongyiyanghuafenjie，youqikuosanbengwangwangchuyuhengaodewenduhuanjingxiagongzuo，shixitongneizhengqiyashenggao，zhenkongdujiangdi，yinciyaoqiuzhenkongbengyoujuyoulianghaodereyanghuaandingxing。 　　　4.lianghaodekangfushixinghekangruhuaxing 　　zhenkongbengxiruderuguoshifushixingqiti，huiyuyoufashenghuaxuefanying，fushibengneilingjian；xirukongqizhongwangwanghanyoushuiqilengningshui，yinqizhenkongbengyouderuhuabingshijinshufushi，suoyiyaoqiujuyoulianghaodekangfushihekangruhuaxing。 　　　5.jiaogaodeshandian 　　zhuyaoyaoqiuzhenkongbengzhongbuxiedaiqingzhizufen，yimianyingxiangyoupindebaohezhengqiya。 　　6.jiaodidejixianyali 　　jixianyalishizhenkongbengyouzhongyaodeshiyongxingnengzhibiaoyilejiezaizuidizhenkongjixianyalixiazhenkongbengdejixianyali。

真空泵-維護保養
　　 1、經常檢查油位位置，不符合規定時須調整使之符合要求。以真空泵運轉時，油位到油標中心為準。 　　
2、經常檢查油質情況，發現油變質應及時更換新油，確保真空泵工作正常。 　　
3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。 　　
4、一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。 　　
5、有條件的對管中同樣進行清理，確保管路暢通。 　　
6、重新裝配后應進行試運行，一般須空運轉2小時并換油二次，因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發物，待運轉正常后，再投入正常工作。 　　
7、檢查真空泵管路及結合處有無松動現象。用手轉動真空泵，試看真空泵是否靈活。 　　
8、向軸承體內加入軸承潤滑機油，觀察油位應在油標的中心線處，潤滑油應及時更換或補充。 9、擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水（或引漿）。 　　
10、關好出水管路的閘閥和出口壓力表及進口真空表。 　　
11、點動電機，試看電機轉向是否正確。 　　
12、開動電機，當真空泵正常運轉后，打開出口壓力表和進口真空泵，視其顯示出適當壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負荷情況。 　　
13、盡量控制真空泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內，以保證真空泵在最高效率點運轉，才能獲得最大的節能效果。 　　
14、真空泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環境溫度35C，最高溫度不得超過80C 。 　　
15、如發現真空泵有異常聲音應立即停車檢查原因。 　　
16、真空泵要停止使用時，先關閉閘閥、壓力表，然后停止電機。 　　
17、真空泵在工作第一個月內，經100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次。 　　
18、經常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。 　　
19、定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應及時更換。 　　
20、zhenkongbengzaihandongjijieshiyongshi，tingchehou，xujiangbengtixiabufangshuiluosainingkaijiangjiezhifangjing。fangzhidonglie。 21、zhenkongbengchangqitingyong，xujiangbengquanbuchaikai，caganshuifen，jiangzhuandongbuweijijiehechutuyiyouzhizhuanghao，tuoshanbaoguan。

真空泵-中國應用
　　 中國生產真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右，僅相當于美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發展。中國真空泵制造業有著悠久的歷史和雄厚的基礎，國產真空泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評，應該說中國真空泵制造業在國內外市場仍然有著巨大的發展空間。
1.液環泵
　　 雖然液環泵屬于粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。在國外，液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中國投資建廠或建立銷售網絡，不斷擴大在中國的市場份額。由于液環泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產品，所以國產液環泵在價格上有競爭優勢，關鍵是要改進設計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。
2.滑閥泵
　　 由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。
3.直聯旋片泵
　　 隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大，直聯旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業廠。國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關，價格又遠比國外的泵便宜，所以國產泵仍然有競爭優勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題，確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠，同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。
4.羅茨泵
　　 從國外羅茨泵生產情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。目前，國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統，為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場，這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質量，提高泵內的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。 　　目前，國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。
5.分子泵
　　 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 　　由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。
6.干泵
　　 國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3／h～500m3／h。據統計，目前國產干泵的應用還不足1%，國內半導體工業用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，中國應大力研究開發干泵，使干泵成為中國真空工業新的經濟增長點。
7.水環泵
　　 水環真空泵（簡稱水環泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯大氣噴射器可達270~670Pa。水環泵也可用作壓縮機，稱為水環式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。 　　水環泵最初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。在工業生產的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環泵得到廣泛的應用。由于真空應用技術的飛躍發展，水環泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環泵應用日益增多。 　　如圖：在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環。水環的下部分內表面恰好與葉輪輪轂相切，水環的上部內表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環內有一定的插入 深度）。此時葉輪輪轂與水環之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點，那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續旋轉時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。 　　綜上所述，水環泵是靠泵腔容積的變化來實現吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變容式真空泵。 　　水環泵和其它類型的機械真空泵相比有如下優點： 　　結構簡單，制造精度要求不高，容易加工。 　　結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。 　　壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。 　　由于泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。 　　吸氣均勻，工作平穩可靠，操作簡單，維修方便。 　　水環泵也有其缺點： 　　效率低，一般在30%左右，較好的可達50%。 　　真空度低，這不僅是因為受到結構上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強只能達到2000~4000Pa。用油作工作液，可達130Pa。 　　總之，由于水環泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點，盡管它效率低，仍然得到了廣泛的應用。
[編輯本段]真空泵的相關名詞術語解釋
　　 1、真空的定義 　　真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態 　　　2、真空度 　　處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。 　　3、真空度單位 　　通常用托（Torr）為單位，近年國際上取用帕（Pa）作為單位。 　　1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱 　　4、托與帕的轉換 　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托 　　5、平均自由程 　　作無規則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示。 　　　6、流量 　　單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。 　　　7、流導 　　表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩定狀態下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。 U＝Q/(P2- P1) 　　8、壓力或壓強 　　氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。 　　9、標準大氣壓 　　壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。 　　10、極限真空 　　真空容器經充分抽氣后，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。 　　11、抽氣速率 　　在一定的壓強和溫度下，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp＝Q/（P－P0） 　　　12、冷阱（水冷擋板） 　　置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。 　　　13、氣鎮閥 　　油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調節閥，當打開閥并調節入氣量，轉子轉到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮閥。氣鎮閥14、真空冷凍干燥 　　真空冷凍干燥，也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。 　　15、真空蒸鍍 　　在真空環境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。 　　　16、真空干燥 　　利用真空環境下沸點低的特點來干燥物品的方法。 　　17、真空系統常用名稱 　　(1)主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。主泵(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。 　　(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。
[編輯本段]測量方式分類：
　　 　　 1、熱偶真空計 　　利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。 　　　2、電離真空計（又收熱陰極電離計） 　　由筒狀收集極，柵網和位于柵網中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。 　　　3、復合真空計 　　由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~10-5Pa。 　　　4、冷陰極電離計 　　陽極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場作用，陽極筒內形成潘寧放電產生離子，根據陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。 　　　5、電阻真空計 　　利用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。 　　　6、麥克勞真空計（壓縮式真空計） 　　將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。 　　　7、B－A規電容薄膜真空計 　　這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規。收集極是一根細絲，放在柵網中心，燈絲放在柵網外面，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限，可測超高真空。電容薄膜真空計將三種不同的規管綜合在個小型經濟的規管中，測量過程壓強和基本壓強從5x10-10至1500毫巴。電容薄膜真空計由于具有測量精度高、動態響應快、測量結果與氣體成分無關以及抗腐蝕、耐氣壓沖擊等一系列優點，因而越來越受到人們的重視。以它取代水銀壓力計、油壓計、電阻真空計、熱偶真空計以至部分地取代電離計。
[編輯本段]真空泵名稱解釋
　　 1、水環真空泵 　　泵的葉輪轉子旋轉而產生水環。由于轉子偏心旋轉而使水環與葉片間容積發生周期性改變而進行抽氣的機械真空泵。 　　2、往復真空泵 　　利用活塞的往復運動而進行抽氣的機械真空泵。 　　3、油封機械真空泵 　　用油來保持密封的機械真空泵，可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。 　　4、羅茨真空泵 　　具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環等可直排大氣的真空泵。 　　5、渦輪分子真空泵 　　有一高速旋轉的葉輪，當氣體分子與高速旋轉的渦輪葉片相碰撞時就被驅向出氣口再由前級泵抽除。 　　6、油擴散真空泵 　　擴散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴散，并被蒸汽帶向泵出口處逐級被壓縮后再由前級泵排除。 　　7、低溫真空泵 　　利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。
[編輯本段]旋片式真空泵的工作原理說明
　　 如圖為旋片泵的工作原理示意圖，旋片泵主要由定子、轉子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。其結構是利用偏心地裝在定子腔內的轉子（轉子的外圓與定子的內表面相切兩者之間的間隙非常小）和轉子槽內滑動的借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內壁的兩塊旋片，當轉子旋轉時，始終沿定子的內壁滑動。 　　兩個旋片把轉子、定子內腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個部分，當轉子按圖示方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大，A空間的壓強不斷的降低，當A空間內的壓強低于被抽容器內的壓強，根據氣體壓強平衡的原理，被抽的氣體不斷地被抽進吸氣腔A，此時正處于吸氣過程。B腔的空間的容積正逐漸減小，壓力不斷地增大，此時正處于壓縮過程。而與排氣口相通的空間C的容積進一步地減小，C空間的壓強進一步的升高，當氣體的壓強大于排氣壓強時，被壓縮的氣體推開排氣閥，被抽的氣體不斷地穿過油箱內的油層而排至大氣中，在泵的連續運轉過程中，不斷地進行著吸氣、壓縮、排氣過程，從而達到連續抽氣的目的。 　　排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中，油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進入泵腔，使泵腔內所有運動的表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔的密封，同時油還充滿了一切有害空間，以消除它們對極限真空的影響。 　　screen.width-333)this.width=screen.width-333"> 　　旋片泵工作原理圖 　　1-泵體;2-旋片;3-轉子; 4-彈簧;5-排氣閥 　　雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成，兩室前后串聯，同向等速旋轉，Ⅰ室是低真空級，Ⅱ室是高真空級，被抽氣體由進氣口進入Ⅱ室，當進入的氣體壓力較高時，氣體經Ⅱ室壓縮，壓強急速增大，被壓縮的氣體不僅從高級排氣閥排出，而且經過中壁通道，進入Ⅰ室，在Ⅰ室被壓縮，從低級排氣閥排出；當進入Ⅱ室的氣體壓力較低時，雖經Ⅱ室的壓縮，也推不開高級排氣閥排出，氣體全部經中壁通道進入Ⅰ室，經Ⅰ室的繼續壓縮，由低級排氣閥排出，因此雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。 　　screen.width-333)this.width=screen.width-333"> 　　雙級旋片式真空泵工作原理圖 　　1-高級排氣閥;2-通道;3-低級排氣閥 　　真空泵在真空系統中所起的作用 由于各種真空泵的性能除均能滿足對容器進行抽真空的共同點之外，尚具有不同之處。因此在選用時必須明確泵在真空系統中所承擔的工作任務是十分重要的，泵在各種不同工作領域中所起的作用歸納起來主要有如下幾個方面：　1、主泵　所謂主泵就是對真空系統被抽容器直接進行抽真空，以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。　2、粗抽泵　粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統壓強達到另一抽氣系統可以開始工作的真空泵。　3、前級泵　前級泵是指用于使另一個泵的前級壓強維持在其最高許可的前級壓強以下的真空泵。　4、維持泵　維持泵是指當真空系統抽氣很小時，不能有效的利用主要前級泵。為此，在真空系統中另配一種抽氣速度較小的輔助前級泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。　5、粗真空泵或低真空泵　粗、低真空泵是指從大氣開始，降低被抽容器的壓強后工作在低真空或粗真空壓強范圍內的真空泵。　6、高真空泵　高真空泵是指在高真空范圍工作的真空泵。　7、超高真空泵　超高真空泵是指在超高真空范圍工作的真空泵。　8、增壓泵　增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間，用以提高抽氣系統在中間壓強范圍的抽氣量或降低前級泵抽氣速率要求的真空泵。