ASM181T氦質譜檢漏儀的元件作業原理

1.ASM181T氦質譜檢漏儀的作業氣路（圖1）。
2.ASM181T氦質譜檢漏儀作業預備內中（主動外部校準）
（1）預抽。合上檢漏儀電源電門，粗抽泵啟動，輪回批示按鈕的綠色批示燈閃亮。
（2）當初壓力達成設定值（大概5s后），P批示燈亮，分子泵啟動，旋片式真空泵分子泵轉速達成畸形轉速大概須要2～3min，當分子泵轉速達成畸形轉速時，分子泵轉速批示OK燈亮。同聲，真絲啟動，真絲電門批示燈閃亮大概8s后，批示燈亮，真絲點亮。
（3）檢漏儀主動標定。AUTOCAL電門白色批示燈閃亮，那末沒有故障，多少秒鐘后綠色批示燈亮，外部漏孔通大氣。示意檢漏儀自檢實現，能夠作業了。3.ASM181T氦質譜檢漏儀檢漏內中
（1）粗抽。按下遙控器上的輪回啟動按鈕，粗檢閥4翻開，遙控器右側壓力預示光柱上升。
（2）大漏檢測形式。那末按下粗檢按鈕，信以為真空達成6×102MPa時，分子泵排氣口閥6翻開，遙控器旁邊光柱預示以后漏率。
（3）細檢形式。那末不按下粗檢按鈕，信以為真空達成2×10-4MPa時，粗檢閥4開放，細檢閥5翻開，遙控器左側光柱預示以后漏率。4.ASM181T氦質譜檢漏儀的質譜室作業原理
質譜室作業原理（圖2）。
質譜室是用來檢測氦的分壓強。當質譜室內的總壓強（真空度）＜10-6MPa時，水解室中由鎢絲制成的真絲啟動，加熱后產生高速電子轟擊離子源中的氣體分子，使分子水解。大全體的氣體分子都能變成離子，離子在磁場中被（減速電壓）減速，從而進入與其垂直的偏轉磁場，相反品質數的離子其偏轉半徑相反。減速電壓使得氦離子能夠打到放大器的出口（電子加倍器），從而檢測出氦離子流的強度，氦離子流與容器內的氦分壓成反比，因而對氦離子的測量能夠確定被檢件的漏率。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　更多技術文章