選用材質將機械泵泵和除害裝置的進行料工費嚴控20%上述
美式應該用板材子有限公司更新了才可以減少制造出提升傳動設施附加的真空度泵及除害提升傳動設施等的能量浪費量,將運動成本價較原來減少20%之內的操作系統“Applied iSYS”。首要將看向該子有限公司的CVD提升傳動設施出示,未來十年還計劃怎么寫應該用于蝕刻提升傳動設施。
Applied iSYS根據制程艙內的情況控制真空泵和除害裝置的運行。比如,應用于CVD裝置時,在成膜時及清潔時運行真空泵和除害裝置,其他時間使其處于備用狀態。這樣,可減少用電量及煤氣用量等。應用于半導體工廠的全部CVD工序時,每年可削減真空泵和除害裝置等的運行成本200萬美元以上。
juyingyongcailiaogongsijieshao,daxingbandaotichangshangyixiangjitichunengyuanxuejianmubiao。zaibandaotigongchangdenengyuanxiaohaozhong,zhizaozhuangzhizhan45%,zhizaozhuangzhisuofudaidezhuangzhizhan42%,qiyu13%laizizhaomingdeng。
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