操作村料將蒸空泵和除害裝備的正常運作代價嚴控20%以上內容
新加坡APP的材料集團發布了了要能減縮制做操作系統設計附贈的正空泵及除害操作系統設計等的電力能源需求量量,將作業成本投入較僅有減縮20%綜上所述的操作系統“Applied iSYS”。第一個將針對該集團的CVD操作系統設計提拱,未來十年還年度計劃APP于蝕刻操作系統設計。
Applied iSYS根據制程艙內的情況控制真空泵和除害裝置的運行。比如,應用于CVD裝置時,在成膜時及清潔時運行真空泵和除害裝置,其他時間使其處于備用狀態。這樣,可減少用電量及煤氣用量等。應用于半導體工廠的全部CVD工序時,每年可削減真空泵和除害裝置等的運行成本200萬美元以上。
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